無塵車間相對濕度控制不好，就會使無塵車間整體主要表現降低，并且還會繼續產生下列這些一系列的危害。

1、細菌生長。細菌和別的生物污染(霉菌，病毒，細菌，滿蟲)在相對濕度超出60%的自然環境中能夠活躍性地繁育。一些有益菌在相對濕度超出30%時就可以提高。而相對濕度處在40%至60%的范疇中間時，能夠使病菌的危害及其上呼吸道感染降至最少。因此無塵車間的相對濕度必須控制在一定范疇。

2、相對濕度控制不好，容易導致無塵車間里的金屬腐蝕。許多化學變化的速率，包含浸蝕全過程，將伴隨著相對濕度的提高而加速。曝露在無塵車間周邊空氣中的表面都迅速的被遮蓋上最少一層單分子層的水。當這種表面是由能夠與水反映的薄金屬材料鍍層構成時，高濕度能夠使反映加快。一些金屬材料，比如鋁，能夠與水產生一層維護型的金屬氧化物，并阻攔進一步的氧化還原反應；另一種金屬材料，比如氧化銅，不是具備維護工作能力的。在高濕度的自然環境中，銅制表面更非常容易遭受浸蝕。

3、無塵車間相對濕度控制不好會出現靜電作用。當相對濕度超出50%時，靜電作用剛開始快速消退，可是當相對濕度低于30%時，他們能夠在導體和絕緣體或是未接地裝置的表面上不斷存有較長一段時間。無塵車間相對濕度在35%到40%中間能夠做為一個比較滿意的，半導體材料無塵車間一般都應用附加的控制設備以限定靜電作用的累積。

4、吸水能力。相對濕度控制不好，對無塵車間吸水能力產出率一定的危害。

5、水蒸氣冷疑。在相對濕度較高的無塵車間自然環境中，萃取水形的毛細管力在顆粒物和表面中間產生了聯接鍵，能夠提升顆粒物與硅質的表面的黏附力。這類效用稱之為凱爾文萃取，便是當相對濕度低于50%時并不重要，但當相對濕度在70%上下時，就變成顆粒物中間粘附的關鍵能量。

6、無塵車間的濕度在40%至60%的范疇一樣也是人們覺得舒服的適當范疇。假如無塵車間濕度過過高讓人感覺憋悶，而濕度小于30%則會令人覺得干躁，皮膚皸裂，呼吸系統不適感及其感情上的很慢，進而影響工作狀態。

7、無塵車間光刻的衰退。在半導體材料無塵車間中最急需解決適當控制的是光刻膠的敏感度。因為光刻膠對相對濕度極其比較敏感的特點，它對相對濕度的控制范疇的規定是最嚴苛的。相對濕度和溫度針對光刻膠可靠性及其精準的規格控制全是很重要的。乃至是在控溫標準下，光刻膠的黏性將伴隨著相對濕度的升高而快速降低。自然，更改黏性，便會更改由固定不動成分鍍層產生的防護膜的薄厚。

除此之外，在高的相對濕度自然環境下，因為水份的消化吸收，使烤制循環系統后光刻膠澎漲加劇。光刻膠粘合力一樣還可以遭受較高的相對濕度的不良影響；較低的相對濕度(約30%)使光刻膠粘附更為非常容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。